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제품소개
Product descriptions
- Sputtering System
- Evaporation System
- PE-CVD System
- Ion Plating System
- Others System
- Vacuum components
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친환경미래산업, 진공장비의 선봉주자!
열린 마음, 창의적인 생각, 적극적인 행동으로
미래지향적인 진공박막장비분야에 최고가 되겠습니다.
Evaporation System
GVES V95
장치개요 - 본장치는 진공상태에서 알루미늄(Al) , 크롬 (Cr), 주석(Sn) 등의 시료를 공,자전하면서 일정한 증착막을 코팅하는장치
구성 - Chamber size : Φ1,400 x 1,600mm L
Ultimate pressure : 3.0 x 10-6Torr below
Pumping speed : 5.0 x 10-5Torr/10min below
Processing capacity : 240 ~ 320pcs
Driving Unit : 6~8 sets
Heater material : W- Coil Heater
Coating material : Al ,Cr etc..
Exhausting pump : Rotary pump + Mechanical booster+ Diffusion Pump
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