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제품소개
Product descriptions
- Sputtering System
- Evaporation System
- PE-CVD System
- Ion Plating System
- Others System
- Vacuum components
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친환경미래산업, 진공장비의 선봉주자!
열린 마음, 창의적인 생각, 적극적인 행동으로
미래지향적인 진공박막장비분야에 최고가 되겠습니다.
Ion Plating System
Ion Beam Test System
장치개요 - 본 장치는 진공상태에서 이온화실 이온소스빔에서 만들어진 기체상태의 원소를 이온화시켜 이온빔을 집속, 가속하여 제품표면에 주입하는 과정에서 이온빔을 조사하는 장치
구성 - Chamber size :￠450 x400
Ultimate pressure : 3.0 x 10-9 Torr below
Pumping speed : 5.0 x 10-6Torr/20min below
Gas : Ar, N2, He, Xe, H, Ne
High Current : Beam Energy 5~10kev
Picometer
Exhausting pump : Rotary pump + Tubo Pump + Ion Pump
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