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제품소개
Product descriptions
Sputtering System
Evaporation System
PE-CVD System
Ion Plating System
Others System
Vacuum components

친환경미래산업, 진공장비의 선봉주자!

열린 마음, 창의적인 생각, 적극적인 행동으로
미래지향적인 진공박막장비분야에 최고가 되겠습니다.
Others System
Vacuum Dry system

 

장치개요

본 장치는 진공 건조 장치로써 진공 chamber 내부에 Reel 극판을 투입한후 진공배기후
Heater로 가열하면서 수분을 제거하는 장치

구성

Chamber size : ø580(L,R)x1,300(D)x950(H)
System size : 2,220(W)x1,560(D)x1,630(H)                 
Door CYL’ Up-Down 방식
작업시작진공도 : 5 x 10-2 Torr
HEATING유지진공도 : 1 x 100 Torr
Vacuum drying system
Drying system
Vacuum annealing furnace system
Continuous vacuum heat treatment furnace
Vacuum Dry system
Debinding Vacuum Furnace
LCD Filling System
LCD filling system
Autoclave System

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