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제품소개
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Sputtering System
Evaporation System
PE-CVD System
Ion Plating System
Others System
Vacuum components

친환경미래산업, 진공장비의 선봉주자!

열린 마음, 창의적인 생각, 적극적인 행동으로
미래지향적인 진공박막장비분야에 최고가 되겠습니다.
제품소개

  • Sputtering System

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    금속 및 산화물 박막을 단일막 또는 다층막을 형성할 수 있는 장비
    - In Line Sputtering system : 대량 양산용
    - Batch type Sputtering System : 다품종 생산 적합

  • Evaporation System

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    진공 챔버내에서 저항가열식으로 금속물질을 기화하여 증착 하는 방식
    다품종생산에 최적화된 솔루션 제공

  • CVD System

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    PE-CVD방식으로 화학증기를 진공 챔버에 주입하고 플라즈마를 유도하여 박막을 형성 할 수 있는 장비

  • Ion Plating System

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    경질 피막을 요구하는 절삭공구나 기계류의 코팅에 주로 적용

  • Others System

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    축적된 노하우와 진공기술을 바탕으로 여러 산업전반에 응용 적용
    산업용 장비 외 연구용 장비 제작

  • Vacuum Components

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    산업용 시스템 외 진공 주요 부품 생산 제작 납품
    정밀 가공품, 진공 규격품